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各类型洁净室的洁净度与适用和分类表参考
文章来源：http://www.iwuchen.com/ 2015年10月25日 点击数：7477
工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表
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洁净度
产业别 |
洁净度（≥0.5μm，个/ft3）
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1
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10
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100
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1000
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10000
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100000
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300000
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| LSI制造工程 | |||||||
| LSI组立检查工程 | |||||||
| (矽)单结晶 | |||||||
| 照像光罩photo mask | |||||||
| 光阻涂膜photoresist | |||||||
| 一般液晶(tn,stn) | |||||||
| 显示用液晶(tft,mim) | |||||||
| 投影用液晶(tft) | |||||||
| 混合(hybrid)IC | |||||||
| 印刷基板材料 | |||||||
| 印刷配线板 | |||||||
| 电晶体、二极体 | |||||||
| 精密电子部品 | |||||||
| 磁头 | |||||||
| 磁碟 | |||||||
| 电脑、磁碟装置组立 | |||||||
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录影带、光碟
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照像底片
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| 光织 | |||||||
| 精密轴承 | |||||||
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光学镜片
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| 半导体制造装置 | |||||||
| 洁净管及阀类 | |||||||
| LSI制造用化学药品 | |||||||
| 精密测定机制造 | |||||||
| 清洗无压衣 | |||||||
| 印刷、制版 | |||||||
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洁净度（≥0.5μm，个/ft3）
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1
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10
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100
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1000
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10000
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100000
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| (医药品) | ||||||
| 抗生物质 | ||||||
| 注射药 | ||||||
| 血清 | ||||||
| 药剂包装过程 | ||||||
| 医疗用器具 | ||||||
| (病院) | ||||||
| 无菌手术室 | ||||||
| 手术室 | ||||||
| 无菌病室 | ||||||
| 调剂室 | ||||||
| (食品) | ||||||
| 牛乳?乳制品 | ||||||
| 食肉?食肉加工 | ||||||
| 炼乳制品 | ||||||
| 清酒?酒类 | ||||||
| 糕饼?豆腐 | ||||||
| 制果?面包 | ||||||
| (动物实验) | ||||||
| 饲养区 | ||||||
| 隔离区 | ||||||
| 其他 | ||||||
| 磨茹?菌类培养 | ||||||
| 观叶植物培养 | ||||||
| 化妆品 | ||||||
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Tags：洁净室达到洁净度等级要求的四大必要条件
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