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如何对洁净室内的环境控制?
如何对洁净室内的环境控制?
洁净室内之污染路来源，经测试分析结果，作业人员占约80%。实验数据显示，作业人员进出洁净室时尘埃有显著增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因人是主要因素。
洁净室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等。
对硅芯片而言，微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，因此微污染源的控制已成为洁净室管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度，可为设计参考，而在微污染控制，其基本原则有四：
1.外部尘埃侵入之防止
洁净室适当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入洁净室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。
2.室内发尘之防止
隔间板、地板等洁净室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用洁净室专用器等。
3.室内发尘之不积留
墙壁体应光滑无死角、洁净室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。
4.发生尘埃之排除
换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题，这些问题将于下节详述。
表1自然界微尘粒子数
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测量地点 |
微尘粒子数（个/ft3）≥0.5μm |
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大气层圈 |
ㄑ100 |
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田园地区（微风状态） |
100，000~300，000 |
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住宅地区 |
100，000~200，000 |
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办公室（工作中） |
200，000~400，000 |
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工业区 |
400，000~1，000，000 |
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正在吸烟的会议室 |
600，000~1，000，000 |
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