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ISO14644
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ISO 1¼¶
|
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360~600
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¡Ý99.9999%
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ISO 2¼¶
|
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N, M
|
0.305~0.508
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360~600
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¡Ý99.999%
|
ɨÃè
|
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ISO 3¼¶
|
1
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N, M
|
0.305~0.457
|
360~540
|
¡Ý99.9999%
|
ɨÃè
|
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ISO 4¼¶
|
10
|
N, M
|
0.254~0.457
|
300~540
|
¡Ý99.999%
|
ɨÃè
|
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ISO 5¼¶
|
100
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U, N, M
|
0.203~0.406
|
240~480
|
¡Ý99.97%
|
ÄÆÑ棬DOP£¬É¨Ãè
|
150~300
|
ISO 6¼¶
|
1,000
|
U
|
0.127~0.203
|
150~240
|
¡Ý99.97%
|
ÄÆÑ棬DOP£¬É¨Ãè
|
50~100
|
ISO 7¼¶
|
10,000
|
U
|
0.051~0.076
|
60~90
|
¡Ý99.97%
|
ÄÆÑ棬DOP£¬É¨Ãè
|
¡Ý20
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ISO 8¼¶
|
100,000
|
U
|
0.005~0.041
|
5~48
|
¡Ý99.97%
|
ÄÆÑ棬DOP£¬É¨Ãè
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¡Ý15
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ISO 9¼¶
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