在决定洁净室工程的质量诸多因素中,空气过滤器的品质至关重要。当空气过滤器的品质有保证时,通风参数(换气次数或平均风速)成了最关键的因素。
换气次数与空气过滤器的关系表:
ISO14644
分级
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对应传
统规格
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气流
形式
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平均风速
m/s
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换气
次数
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末端过滤器
效率
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过滤器
检验方法
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国内传统
换气次数
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ISO 1级
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360~600
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≥99.9999%
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扫描
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ISO 2级
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N, M
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0.305~0.508
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360~600
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≥99.999%
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扫描
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ISO 3级
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1
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N, M
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0.305~0.457
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360~540
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≥99.9999%
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扫描
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ISO 4级
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10
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N, M
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0.254~0.457
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300~540
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≥99.999%
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扫描
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ISO 5级
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100
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U, N, M
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0.203~0.406
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240~480
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≥99.97%
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钠焰,DOP,扫描
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150~300
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ISO 6级
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1,000
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U
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0.127~0.203
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150~240
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≥99.97%
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钠焰,DOP,扫描
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50~100
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ISO 7级
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10,000
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U
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0.051~0.076
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60~90
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≥99.97%
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钠焰,DOP,扫描
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≥20
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ISO 8级
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100,000
|
U
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0.005~0.041
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5~48
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≥99.97%
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钠焰,DOP,扫描
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≥15
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ISO 9级
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