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洁净室主要有哪些污染源？
洁净室的污染源主要有哪些呢？
iwuchen跟大家介绍一家，洁净室的污染源主要有四种，分别如下：
1、大气尘（新风）
室外大气的含尘浓度
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地区 |
计重浓度 |
计数浓度(≥0.5μm) |
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|
mg/m3 |
个/L |
个/ m3 |
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市区 |
0.1~0.35 |
5x104~23.3x104 |
15x105~70x105 |
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郊区 |
0.05~0.3 |
2x104~10x104 |
10x105~30x105 |
|
农村 |
0.01~0.1 |
1x104~3.3x105 |
3x105~10x105 |
2、作业人员发尘（主要尘源）
作业人员发尘量(一)｛粒/（人?min）≥0.5μm｝
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序号 |
人员动作 |
普通工作服 |
洁净工作服 |
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分套型 |
全套型 |
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|
1 |
立 |
339000 |
113000 |
5580 |
|
2 |
坐 |
302000 |
112000 |
7420 |
|
3 |
臂上下运动 |
2980000 |
298000 |
18600 |
|
4 |
上体前屈 |
2240000 |
538000 |
24200 |
|
5 |
臂自由运动 |
2240000 |
298000 |
20600 |
|
6 |
头部运动 |
631000 |
151000 |
11000 |
|
7 |
上体转动 |
850000 |
266000 |
14900 |
|
8 |
屈身 |
3120000 |
605000 |
37400 |
|
9 |
踏步 |
2800000 |
861000 |
44600 |
|
10 |
步行 |
2920000 |
1010000 |
56000 |
作业人员发尘量(二)｛粒/（人?min）≥0.5μm｝
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序号 |
工作服型式及材料 |
动作 |
|
|
坐(四肢、头部自由活动) |
走动 |
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1 |
全套型粗织尼龙工作服 |
38.3x104 |
322x104 |
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2 |
分套型密织尼龙工作服 |
18.1x104 |
128x104 |
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3 |
分套型密织尼龙工作服 内衬的确良工作服 |
7.2x104 |
73.8x104 |
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4 |
棉的确良工作服 |
20.5x104 |
108x104 |
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5 |
电力纺工作服 |
101x104 |
677x104 |
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6 |
普通服装 |
210x104 |
300x104 |
3、建筑围护结构产尘（屋顶、墙、地板）
洁净室建筑表面发尘量｛粒/（min?┫地面）≥0.5μm｝
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序号 |
建筑表面发尘量 |
资料来源 |
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1 |
（0.8~1）*104 |
电子部十一院《设计通讯》1975年 |
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2 |
（0.3~0.9）*104 |
电子部十一院《苏州半导体器件一厂洁净室测定》1978年 |
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3 |
0.77*104 |
电子部十一院《北京西城半导体材料厂水平层流洁净室测定报告》1975 |
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4 |
4.5*104 |
电子部十一院《出国考察报告》(74)013 1974年 |
洁净室建筑表面发尘量与作业人员发尘量的比较
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项目 粒径
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洁净室建筑表面发尘量 ｛粒/（min?┫地面）｝ |
人员发尘量｛粒/(人?min)｝ |
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静止(基本静止) |
人员正常操作 |
||
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≥0.5μm |
1.25*104 |
10*104 |
50*104 |
4、工艺生产过程产尘（与生产设备、生产工艺、生产过程有关，不同的生产过程、工艺产尘量不同）。
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