净化工程验收方案

1.净化工程验收方案

净化工程施工结束，由投标方向招标方提出验收时间和参与验收人员数量，由招标方批准，届时给予验收。

如果招标方在投标方提出验收7日内无回复，则工程被认为自动通过验收。

2.净化工程验收方法和指针

2.1等级标准

a洁净度等级标准:美国联邦标准(FS-209E)

 注:表中数字为各级标准中所允许的粒子数上限值(颗粒数/ ft3)

b洁净室温湿度标准:

以洁净室内生产工艺（甲方）要求为测试标准。

c洁净室噪声标准：

静态状态:室内噪声级≤65d B (A)

本底噪声干扰扣除量参照下表:

注：由于技术经济条件限制，或噪声大于70d B（A）对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75d B（A）。

d洁净室照度标准:

以<<洁净室施工验收规范>>为标准，照度要求：300Lx。

注：以测试结果的平均值来衡量。

e洁净室正压标准：

洁净区与非洁净区大于等于10Pa，其它房间大于等于5Pa

2.2测试环境

a净化空调单机设备和系统调试完成并至少运行24小时后;

b洁净室及净化空调系统已全面彻底清扫,并于清扫后由身着洁净服的人员擦拭表面完成;

c测试及调整应在空态或静态下进行;

d测试人员不应多于3人。

2.3测点分布

a测点间距0.5-2.0m;

b层流洁净室测点总数不应少于20点;

c水平层流洁净室测点仅分布在第一洁净工作区。

d采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作区的高度

（离地点0.8m）。每个采样点的最小时间为1min，采样量至少为2L。

e当洁净室或洁净区仅有一个采样点时，则在该点应至少采样3次。

f测点位置:距墙1.0m,高度0.8 ~1.5m工作区域

g最低限度采样点数（NL）: 

 NL=A0.5

式中  NL——最少采样点

      A——洁净室或被控洁净区的面积（M2）

2.4测量仪器:

a 洁净度测量仪器规范要求:光散射激光粒子计数器

  使用仪器:美国MetOne 227A型掌上型激光粒子计数器

  仪器性能:流   量:0.1 ft3/min

  灵 敏 度: 0.5μm

  采样粒径: 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm, 3.0μm,5.0μm

  测量方式:粒子浓度或单位时间内粒子数

b 温湿度测量仪器规范要求:温湿度测试仪

  使用仪器: TES 1360温湿度测试仪

  仪器性能:精   度:0.1℃  0.1％RH

  测量范围: -20℃～60℃

          10％～95％RH

c 噪声测量仪器规范要求:声级计，频率分析仪，或自动记录仪

  使用仪器:台湾LUTRON  SL-4001声级计

  仪器性能:精   度: 0.1 d B

   测量范围: 30 ~ 130 d B

   A声级或C声级

d 照度测量仪器规范要求:照度测试仪

  使用仪器: ILLUMINOMETER MODEL 5200照度测试仪

  仪器性能:精   度: 1 Lx

  测量范围: 0 ~ 1000 Lx