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1961.3 |
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1963.7 |
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1963.12 |
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1964 |
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1965.8 |
ÃÀ¹ú¿Õ¾ü¼¼ÊõÌõÁîTO.00-25-203µÚ¶þ´ÎÐÞ¶©±¾ |
1965 |
(Ç°)ËÕÁª±ê×¼CH317-65(¼ÆÊý·¨) |
1966.6 |
Áª°îµÂ¹ú±ê×¼ |
1966.8 |
ÃÀ¹úÁª°î±ê×¼FS-209A |
1967.8 |
ÃÀ¹ú¹ú¼Òº½¿ÕÓ뺽Ìì¹ÜÀí¾ÖNASA±ê×¼NHB5340.2 |
1968 |
ÃñÖ÷µÂ¹ú±ê×¼ |
(Ðø±í)
1972 |
·¨¹ú±ê×¼ASPEC Communication 7202 |
1973.4 |
ÃÀ¹úÁª°î±ê×¼FS-209B |
1973 |
(Ç°)ËÕÁª±ê×¼OCT11¢ò-170-050.001-73 |
1975 |
ÈÕ±¾¹¤Òµ±ê×¼B9920 |
1976.5 |
ÃÀ¹úÁª°î±ê×¼FS-209BÐÞ¶© |
1976,1977 |
Áª°îµÂ¹ú±ê×¼VDI 2083 |
1976 |
Ó¢¹ú±ê×¼ |
1976 |
°Ä´óÀûÑDZê×¼ |
1987.10 |
ÃÀ¹úÁª°î±ê×¼FS-209C |
1988 |
ÈÕ±¾¹¤Òµ±ê×¼JIS B 9920½à¾»ÊÒÐü¸¡Î¢Á£µÄ²â¶¨·½·¨ºÍ½à¾»Êҽྻ¶ÈµÄÆÀ¼Û·½·¨£¨ÐÞ¶©°¸£© |
1988 |
ÈÕ±¾¿ÕÆø½à¾»Ð»á±ê×¼ |
1988.6 |
ÃÀ¹úÁª°î±ê×¼FS-209D |
1992.11 |
ÃÀ¹úÁª°î±ê×¼FS-209E |
1996 |
¶íÂÞ˹±ê×¼GOSTR 50766-95 |
1999.5 |
¹ú¼Ê±ê×¼ISO 14644-1 |
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¹«²¼Ê±¼ä |
°ä²¼¹æ·¶µÄ¹ú¼Ò¡¢µØÇø¡¢×éÖ¯ |
1973 |
ÈÕ±¾Ò©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶(JGMP) |
1983 |
Ó¢¹úÒ©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶(³ÈÉ«Ö¸ÄÏ) |
1984 |
¼ÓÄôóÒ©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶ |
1984 |
º«¹úÒ©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶ |
1985 |
ÖйúÒ©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶ |
1988 |
¶«ÄÏÑǹú¼ÒÁªÃËÒ©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶(ASEAN GMP) |
1989 |
ÖйúÊÞÒ©Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶(ÊÔÐÐ) |
1990 |
Ò©Æ·Éú²ú¼ì²é»¥Ïà³ÐÈϹ«Ô¼µÄÒ©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶(PIC GMP) |
1990ÐÞ¶©) |
Öйų́ÍåµØÇø¡°ÓÅÁ¼Ò©Æ·ÖÆÔì±ê×¼¡± |
1991 |
ÃÀ¹úÏÖÐÐÒ©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶(CFR GMP) |
1991 |
ÃÀ¹úFDAÉúÎï¼¼Êõ¼ì²éÖ¸ÄÏ |
1991 |
ÃÀ¹úFDAÔÁÏÒ©¼ì²éÖ¸ÄÏ |
1992 |
ÊÀ½çÎÀÉú×éÖ¯Ò©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶(WHO GMP) |
1992 |
Å·ÖÞ¹²Í¬ÌåÒ©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶(EEC GMP) |
1992ÐÞ¶©) |
ÖйúÒ©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶ |
1997 |
Å·ÖÞÁªÃËÒ©Æ·Éú²úÖÊÁ¿¹ÜÀí¹æ·¶(EU GMP) |
1998ÐÞ¶©) |
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1984ÄêÎÒ¹ú°ä²¼Á˹ú¼Ò±ê×¼¡¶½à¾»³§·¿Éè¼Æ¹æ·¶¡·£¨GBJ73¡ª1984£©£»
1991Äê°ä²¼ÁËÐÐÒµ±ê×¼¡¶½à¾»ÊÒÊ©¹¤¼°ÑéÊչ淶¡·£¨JGJ7190£©£»
1994Äê°ä²¼ÁË¡¶ÊµÑ鶯Îï»·¾³ÓëÉèÊ©¡·£¨GB/T14925¡ª1994£©£»
1996Äê¹ú¼ÒÒ½Ò©¹ÜÀí¾Ö°ä²¼ÁË¡¶Ò½Ò©¹¤Òµ½à¾»³§·¿Éè¼Æ¹æ·¶¡·£¨GMP¡ª97£©£»
2001ÄêÐÞ¶©ÁËÔ¡¶½à¾»³§·¿Éè¼Æ¹æ·¶¡·£¨GBJ73¡ª1984£©£¬°ä²¼ÁËеĹú¼Ò±ê×¼¡¶½à¾»³§·¿Éè¼Æ¹æ·¶¡·£¨GB50073¡ª2001£©£»
2002Äê°ä²¼Á˹ú¼Ò±ê×¼¡¶Ò½Ôº½à¾»ÊÖÊõ²¿½¨Öþ¼¼Êõ¹æ·¶¡·GB50333¡ª2002£»
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1980 |
1984 |
1987 |
1990 |
1993 |
1996 |
1999 |
2004 |
¹èƬֱ¾¶/mm |
75 |
100 |
125 |
150 |
200 |
200 |
200 |
300 |
DRAM¼¼Êõ |
64K |
256K |
1M |
4K |
16M |
64M |
256M |
1G |
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2 |
1.5 |
1 |
0.8 |
0.5 |
0.35 |
0.25 |
0.2¡ª0.1 |
¹¤ÒÕ²½Êý |
100 |
150 |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
700¡ª800 |
½à¾»¶ÈµÈ¼¶ |
1000-100 |
100 |
10 |
1 |
0.1 ¦Ìm |
0.1 ¦Ìm |
0.1 ¦Ìm |
0.1 ¦Ìm |
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Ͷ²úÄê¶È ÏîÄ¿ |
1997 |
1999 |
2001 |
2003 |
2006 |
2009 |
2012 |
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256M |
1G |
1G |
4G |
16G |
64G |
256G |
Ïß¿í/¦Ìm |
0.25 |
0.18 |
0.15 |
0.13 |
0.10 |
0.07 |
0.05 |
¿ØÖÆÁ£×ÓÖ±¾¶/¦Ìm |
0.125 |
0.09 |
0.075 |
0.065 |
0.05 |
0.035 |
0.025 |
±í0-5 ÿƽ·½Ã×оƬÉÏ¿ÕÆø³¾°£Á£×ÓµÄ×î´óÔÊÐíÖµ
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64M |
256M |
1G |
4G |
16G |
64G |
90 |
55 |
38 |
25 |
16 |
11 |
8 |
80 |
124 |
84 |
56 |
37 |
24 |
7 |
70 |
195 |
132 |
¡ª |
¡ª |
¡ª |
¡ª |
¿ØÖÆÁ£×ӳߴç/¦Ìm |
0.035 |
0.025 |
0.018 |
0.013 |
0.01 |
0.007 |
±í0-6 »¯Ñ§ÎÛȾÎï¿ØÖÆÖ¸±ê
Äê·Ý ÏîÄ¿ |
1995 |
1997¡ª1998 |
1999¡ª2001 |
2003¡ª2004 |
2006¡ª2007 |
2009¡ª2010 |
DRAM¼¯³É¶È |
64M |
256M |
1G |
4G |
16G |
64G |
Ïß¿í/¦Ìm |
0.35 |
0.25 |
0.18-0.15 |
0.13 |
0.10 |
0.07 |
¹èƬֱ¾¶/¦Ìm |
200 |
200 |
300 |
300 |
400¡ª450 |
400¡ª450 |
ÊÜ¿ØÁ£×ӳߴç/¦Ìm |
0.12 |
0.08 |
0.06 |
0.04 |
0.03 |
0.02 |
Á£×ÓÊý£¨Õ¤ÇåÏ´£©/(pc/m2) |
1400 |
950 |
500 |
250 |
200 |
150 |
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5¡Á1010 |
2.5¡Á1010 |
1¡Á1010 |
5¡Á109 |
2.5¡Á109 |
£¼2.5¡Á109 |
ÓлúÎï(C)/(Ô×Ó/ cm2) |
1¡Á1014 |
5¡Á1013 |
3¡Á1013 |
1¡Á1013 |
5¡Á1012 |
3¡Á1012 |
2.ʳƷ¹¤Òµ
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4. ÉúÎïʵÑé
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5. ʵÑ鶯ÎïËÇÑø
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ÎÒÃÇËù½Ó´¥µÄ»·¾³°üÀ¨ÊÒÍâ´óÆø»·¾³ºÍÊÒÄÚ»·¾³¡£µ±»·¾³µØµã¡¢¹¤³§²úÆ·ÖÖÀ༰Éú²ú¹ý³Ì²»Í¬Ê±£¬ÆäÎÛȾÎïµÄÖÖÀ಻ͬ£¬ÎÛȾÐÔÖÊÒ²²»Í¬¡£Í¨³£ËùÖ¸µÄ¿ÕÆøÎÛȾÎïÖ÷ÒªÓÐÒÔÏÂÈýÀࣺ
1.Ðü¸¡ÔÚ¿ÕÆøÖеÄÁ£×´ÎÛȾÎï¡£°üÀ¨¹ÌÌåºÍÒºÌå΢Á£¡£
2.Ðü¸¡ÔÚ¿ÕÆøÖеÄϸ¾ú¡¢²¡¶¾µÈ΢ÉúÎï¡£
3.¸÷ÖÖ¶Ô»·¾³¡¢ÈËÌå»òÉú²ú¹ý³ÌÓꦵÄÆøÌå¡£
µ±½à¾»ÊÒµÄʹÓÃÓÃ;²»Í¬Ê±£¬ÆäËùÒª¾»»¯µÄÎÛȾÎïÒ²²»Í¬¡£¶ÔÓÚÒ»°ã¹¤Òµ½à¾»ÊÒÐèÒª¾»»¯µÄÎÛȾÎïÖ÷ÒªÊÇÐü¸¡ÔÚ¿ÕÆøÖеij¾°£Î¢Á££»¶ÔÓÚÒ½Ôº²¡·¿¡¢ÊÖÊõÊÒ¡¢ÉúÎïʵÑéÊҵȽ¨Öþ£¬°üÀ¨Ï¸¾ú¡¢²¡¶¾ÔÚÄڵĿÕÆøÖеÄ΢ÉúÎï°Ñ³¾°£Î¢Á£×÷ΪÔØÌ帽×Å£¬Òò´ËÕâÒ»ÀàÉúÎï½à¾»ÊÒ³ý¶Ô³¾°£Î¢Á£¾»»¯Í⣬»¹Ó¦¿ØÖÆ΢ÉúÎïÔÚ¿ÕÆøÖеÄÊýÁ¿¡£
΢Á£µÄ·ÖÀà·½·¨Ò»°ãÓÐÒÔϼ¸ÖÖ£º
Ò»¡¢ °´Î¢Á£µÄÐγɹý³Ì·Ö
1.·ÖÉ¢ÐÔ΢Á£¡£¹ÌÌå»òÒºÌåÎïÖÊÔÚ·ÖÁÑ¡¢ÆÆËé¡¢ÆøÁ÷¡¢Õñµ´µÈ×÷ÓÃϱä³ÉÐü¸¡×´Ì¬¶øÐγɡ£ÆäÖйÌÌå·ÖÉ¢ÐÔ΢Á£ÊÇÐÎ×´²»¹æÔòµÄÁ£×Ó£¬»òÊÇÓɼ¯½á²»½ô¡¢Äý²¢ËÉÉ¢µÄÁ£×Ó×éºÏÐγɵÄÀàÇòÐÎÁ£×Ó¡£
2.Äý¼¯ÐÔ΢Á£¡£Í¨¹ýÎïÖʵÄȼÉÕ¡¢Éý»ªºÍÕôÆûÄý½áÒÔ¼°ÆøÌå·´Ó¦¶øÐγɡ£°üÀ¨¹Ì̬Äý¼¯ÐÔ΢Á£ºÍҺ̬Äý¼¯ÐÔ΢Á£¡£ÆäÖйÌ̬Äý¼¯ÐÔ΢Á£ÊÇÓÉÊýÄ¿½Ï¶àµÄ¡¢ÓÐ׏æÔò½á¾§ÐÎ×´»òÕßÇò×´µÄÔÉúÁ£×Ó½á³ÉµÄËÉÉ¢¼¯ºÏÌå×é³É£»ÒºÌåÄý¼¯ÐÔ΢Á£ÊDZÈҺ̬·ÖÉ¢ÐÔ΢Á£Ð¡µÃ¶à¡¢¶à·ÖÉ¢ÐÔҲСµÄÁ£×Ó×é³É¡£
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¶þ¡¢ °´Î¢Á£µÄ´óС·Ö
¿ÕÆøÖÐÐü¸¡Î¢Á£µÄÁ£¾¶·¶Î§Ò»°ãΪ10-7~10-1cm£¬ÔÚÕâ¸ö·¶Î§ÄÚ£¬Ëæ×Å΢Á£Á£¾¶´óСµÄ±ä»¯£¬ËüµÄÎïÀíÐÔÖʺ͹æÂɶ¼½«·¢Éú±ä»¯¡£
1.¿É¼û΢Á£¡£Î¢Á£Ö±¾¶Îªd >10¦Ìm£¬Í¨¹ýÈâÑÛ¿ÉÒԹ۲쵽ÕâЩ΢Á£¡£
2.ÏÔ΢΢Á£¡£Î¢Á£Ö±¾¶Îªd =0.25~10¦Ìm£¬ÔÚÆÕͨÏÔ΢¾µÏ¿ÉÒÔ¿´¼û¡£
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3.ÓйýÂËÆ÷Ëù²¶¼¯µ½µÄ³¾Á£ÊýÁ¿ºÍ¹ýÂËÆ÷³ö¿ÚÆøÁ÷Öг¾Á£µÄº¬Á¿À´±íʾ¡£
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2.¶Ô¹¤×÷ЧÂʵÄÓ°Ïì
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2.6 3.3 4 4.9 6.2 |
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