净化厂房洁净室灾害与防火安全之探讨

I. 研究动机与目地
II. 火灾灾例
III. 洁净室火灾危害特性与处理
IV. 高科技厂房之防火设备
V. 踏勘报告~联华电子
VI. 结论

 

Ⅰ、动机与目地

一、        自从1996年华邦电子工厂的火警案揭开序幕后接连发生了许多让电子产业受到重创的火警案，例如联瑞电子工厂的火警案、天下电子工厂等著名半导体工厂火警案后引起全国人民的重视，因为在1996年到1998年间所发生的火警案累积其财物损失以达二百亿元。而此类半导体工厂和一般工厂所不同的地方就是其都具有洁净室的构造，迥于其它建筑物，且其晶圆生产过程中所需的硅甲烷、一氧化碳、氟化氢、硝酸等多种化学物品。
二、        本组预期研究半导体产业中洁净室火警中其火灾特性及其消防设计是否符合其产房特性。以期能够符合其类形之火灾特性，并能减少发生火警时的损失。有让当地消防人员在抢救半导体工厂火警时有所依循，了解抢救时要注意事项。


Ⅱ、灾例报告
一、 灾害类别：电子工厂火警(天下电子股份有限公司)
二、 发生地点：科学园区，研发二路八十五号
三、 发生时间：1997年十一月十一日八时二十八分
四、        现场情形：        现场为RC三层建筑物，为1987年建造，一楼为洁净室，二楼为办公室，第三层增建中，现场有消防设备如下(十磅干粉灭火器十支、紧急明灯十具、出口标示灯十具、差动式探测器五十四个、避难方向指示灯十具、受信总机一具、紧急广播设备十套)该公司为三班制，七时二十分换班，现场员工二十人，八时二十八分时员工发现一、二层楼冒烟，由三名员工持灭火器前去一楼后方冒烟处查看，后由于现场浓烟很大，员工无法找到起火点，遂通报消防局前往抢救，消防局水箱车五辆、水库车二辆、化学车一辆，云梯车三辆、救护车三辆。消防人员61人、义消180人采十五线水带入室内抢救。此次火警起火点初步分析为洁净室后方蚀刻室槽，财物损失约三亿元。


一、        灾害类别：        联瑞电子公司
二、        发生地点：        新竹市力行二路三号
三、        发生时间：        1997年十月三日十七时五十六分
四、        现场情形：        该建筑物为地下一层，地下六层之RC构造。一楼为化学供应室，二楼为仓库及真空泵房，三楼为生产线，四楼为库房，五楼为空调箱，顶楼为水洗设备。每一层楼地板面积约壹仟壹佰坪，总楼地板面积约19000平方公尺。消防局于四日下午十七时五十分接获园区消防队通报，联瑞电子公司火势复燃有延烧状况请求支持。消防局立刻出动水箱车十二部、云梯车二部、救护车四部、并请新子县支援救灾各式车辆计八部，合计车辆二十七部，消防人员二二五人出勤。于抢救过程中，有两名消防人员受到腐蚀性化学液体灼伤，另有两名义消手部轻微割伤。现场因燃烧面积过大，以致无法预估财物损失，十月四日经园区管理局与联瑞电子公司协调后，初步估计损失新台币五十亿元，起火原因待鉴定。此次火警于十月五日凌晨四时三十分将火警处完毕，无人员伤亡。

Ⅲ、半导体产业洁净室火灾危害特性及处理
一、        洁净室火灾危险特性：
        洁净室（cleanroom）又称洁净室，晶圆制程皆在洁净室中完成（如附图），其中对于洁净度之要求甚高，为了符合标准，洁净室中强调气密性，具有特殊建筑挑高构造及保持内部气流流通过滤，同时进排气管道贯穿建筑物防火区划之间。从各种特征显示洁净室火灾与一般建筑物火灾特性显著不同，简述如下：
        1.         易燃性液体、气体之快速延烧现象。
                a.         易燃性液体灾害：易燃性液体灾害是洁净室火灾机率中排名最高者，例如96年华邦电子及97年天下电子火警，起火点皆为湿式清洗台（Wet Bench），其中化学气象沉积（CVD-Chemical Vapor Deposition）之清洗台经常使用丙酮、异丙醇、过氧化氢等易燃性液体来清洗制程中残留的化学物质，而且制程中的承载物、湿洗台等皆是以高分子塑化材料制程以避免腐蚀（如附表），再加上制程中经常需要加热或高温，若发生机械性故障造成温度监控装置失效或异常加温加热，都可能造成低燃点的可燃性液体发火，进而藉由高分子塑材之延烧而扩大火势。另外，可燃性液体导电性较差，易蓄积静电而与高分子塑料容器间产生静电火花，增加潜在火灾危险的可能性。
                b.        易燃性气体灾害：晶圆制程中使用到的可燃性气体不下百种（如附表），其中有些气体在常温常压下便会自然发火燃烧，万一管路外泄或异常加热，其火灾潜式将更高。例如化学气象沉积（CVD）及磊晶（Epitaxy）时经常使用到的硅甲烷SiH4，当暴露在常温常压下便会发火燃烧，最容易发生硅甲烷燃烧灾害的地方即废气排放管（酸毒管），通常排放管是由聚丙烯（PP）所制造，以避免管路腐蚀，然而排放管中多属易燃性气体，若遇到引火源或外泄，将使管路陷于火焰之中，同时高分子塑料之排放管燃烧迅速并产生大量浓烟，更加影响救灾活动进行。
　　 除了易燃的性质外，气体还可能产生毒害，或具有腐蚀性，例如磷化氢PH3属于猛毒性气体，稍一不慎致其泄漏，便会对人命安全造成严重威胁。因此在处理易燃性气体或废气时，除了注意其燃烧性质及特性外，也应了解对于人体的影响，方能做最周全的处理。
        2.         电器设备火灾危害： 制程中的加温及监控装置故障、电器短路、静电、电力不足及异常断电时用以辅助电力的发电机过热等，造成易燃性液体及气体发火燃烧，或是机器设备及高分子塑材的延烧，都使高科技洁净室厂房充满危机。
        3.         一般可燃性物质火灾： 废气及废液排放管、湿式蚀刻台、湿式清洗台、晶圆盒、晶圆载具、电线、墙、地板等皆为可燃性物质（如附表），造成火载量增加，也隐含着火灾的危机。

        4.         烟害： 洁净室中的设备多为高分子塑化材料，一经燃烧将产生大量浓烟，同时为了使洁净度符合制程标准，其通风换气设备将不停的运作，若产生大量烟雾，超过换气设备过滤设备所能处理的量，将使烟雾弥漫在整个洁净室密闭空间内，造成洁净度破坏，使制程中断，并延长抢救时间及威胁人命安全。

二、        洁净室火灾危害预防及处理：
        1.         警报设备：
                a.        装置位置：
                        1        高度：洁净室内部高度通常较一般建筑为大，在选用探测器时应将天花板高度考虑在内。
                        2        通风换气设备：装设侦烟式探测器时，应设于烟雾流动必经途径，装设感热式探测器时，应设于易蓄热处，因此通风换气设备之出风口或回风口，应注意与探测器保持一定距离，方能迅速感应及动作。
                        3        层流现象：洁净室内因换气频繁，平均约六秒钟席卷整个空间一次，同时间单位内的空气流动量高出一般建筑物甚多，因此空气流动的层流现象应考虑在内，以避免探测器无法有效测知火灾，形同虚设。
b.种类：火焰式探测器、侦烟式探测器、极早期探测装置，洁净室防灾时，重点在于早期发现，因此灵敏度越高越好，以期灾害发生初期便能反应，甚至在尚未发火前便能测知有发火的可能性，如极早期探测装置便是以此为理念的设计。
        2.        灭火设备：
                a.        化学系统灭火设备：海龙、海龙替代品（FM-200等）、CO2系统等，为了保护机械设备的续用性，化学系统的污染最小，又是最有效的灭火剂。
                b.        自动撒水系统：化学系统的灭火药剂可能与洁净室内的作用气体起变化，同时灭火速度远慢于延烧速度，可能在火灭之前造成更大的伤害，因此多以不起作用的纯水为灭火剂，以高压水雾的放射方法造成的伤害及灭火降温效果最佳，也是洁净室最常装置的灭火设备。
                c.        传统灭火手段：为了避免自动灭火系统在洁净室内误动作而破坏洁净度，因此室内消防栓、灭火器等传统灭火手段配合自卫编组，可以有效避免误动作造成的灾害。
        3.        防火区划及防火措施： 洁净室的设计应有适当的防火区划及防火门的区隔，当灾害发生时能将火势局限在一定范围内，以防止烈火及浓烟波及其它地方。同时高分子塑化材料部分可以改换为添加阻燃剂（Fire Retardant）的材料，以提高塑化材料的燃点，降低起火燃烧的机率。
        4.        易燃性气体灭火：
                a.        防止泄漏： 一旦泄漏，将产生快速燃烧及毒性气体，因此防止更多的气体泄漏为救灾的第一要务。
                b.        自动灭火设备： 藉由化学系统或水雾撒水，增加初期灭火的成功率。
                c.        防止延烧： 对于尚未起火的设备或储存容器应对其予以水雾撒水降温火搬离警戒地区，防止灾害扩大。
                d.        人命救助： 一旦开始燃烧，灭火动作便不易进行，并且产生毒性气体，人命救助及疏散将成为首要工作。
        5.        易燃性液体灭火：
                a.        可燃性混合气形成环境控制： 易燃性液体稍有引火源便能发火燃烧，因此要使其不燃并不容易，可以利用不燃性气体如氮气充填其中，使其氧气在空气中所占比率无法满足该易燃性液体的燃烧下限，以达成预防火灾的目的。
                b.        自动灭火设备、灭火器： 易燃性液体多数与水不相混合，因此不能以水救灾，以避免易燃性液体四处扩散。因此可以利用化学系统或灭火器等无水的灭火药剂来达成灭火目的。
        6.        自卫编组： 加强员工对潜在危害的认识，编订紧急应变计划给各有关人员，并定时举行实地自卫编组训练，亦可由业者自行设置园区消防队（Fire Brigade），以弥补公设消防队到达前的灭火时间空档，争取时效局限火势，减低潜在损失。


Ⅳ、高科技厂房之防火设备
一、        参考法规
1.国内建筑法　 2. 消防法　 3.高压气体劳工安全规则　 4.美国UBC 　5. NFPA318 　6. FM7-7/17-12
二、        高科技厂房火警探测器设置时应考虑因素及其消防设备
A考虑因素:
        1.         天花板高度
        2.        层流现象影响
挑高空间或特殊屋顶材质构造，可能因层流现象（爬卿的烟热抵达与它具有同样相同温度之空气层），在屋顶直下方形成热阻滞层而停止不前，而延误发信。因此美国国家防火协会在其出版之第七十二号NATION ALARM CODE 上建议:在天花板下方一公尺以外，另行配置一层可捕捉自地面上肴初期烟热之火警探测器
        3.        居室通风换气的影响
一般均要求侦烟型探测器应远离出风口，而接近回风口或装在回风管内，但由于换气频率高的居室，势必造成探测器无法针对初期火灾所造成的烟热、粒子有灵敏的感应，对于火灾的侦知上必造成延误。一般建议在风管内设置侦烟探测器
        B、洁净室
        1.        特性：
                a.        无窗壁状态
                b.        发现延迟造成避难 障碍
                c.        采用大量空气循环系统d生产过程中使用化学物质
        2.        适用设备：因洁净室之特性无法达成早期侦知火灾之目的，故洁净室之探测器，应安装在火灾时烟热流必经的途径上，一般在回风管的吸气口，但由于室内强气流的稀释作用，即使设于吸气口，也可能无法侦知，因此洁净室内之消防设备应选用能适应平时清净环境，能变化其感度设定之侦烟式探测器，才能自稀释空气中检出烟粒子存在。极早期预警系统（vesda），一般安装适用场所都选用在高气流、难安装处所及高价值区域，具有主动侦知的特性及超高灵敏度（灵敏度一般可由设在防护建筑物外之总机调节），其动作原理乃是于RPA回风处布设各类经自动取样之早期预警系统，利用空气管对所吸入之空气进行比对，一有异常状况，即发出警报，通知人员前处理，因vesda侦知异常状况都是在火灾或烟害发生的极早期，因此对于初期的灭火成效非常大，常可避免灾情的扩大。因此vesda现今己有许多高科技场商所采用，一方面是即早侦知，另一方面更是由于不会产生水损而造成更大损失。
        C、 湿洗台
        1.        特性： 主要用于晶圆蚀刻及清作业，具有高度自动化及最高价值之特性，其重量可到100吨，一旦发生火灾，其重置期间最长可到18个月，对于产业造成严重中断。对于湿洗台之危害，一般可规如下：
                a.         大量易燃及腐蚀性液体
                b.        燃烧湿洗槽内设有浸入式电热器，其温度失控、将可能引燃槽体。根据统计湿洗台自动化机械之电气系统，位居所有湿洗台事故之冠。
        2.        防火设备：
                a.        充氮：可以降低塑料材料引燃之危险，其原理乃是充氮把氧的浓度降低，则电弧遇热就不会有引发火灾之危险。
                b.        微水雾（water mist）：用压力及特殊喷头之作用，产生悬浮微雾（４００uｍ以下之水滴），藉冷却（除去燃烧热）、稀释（降低氧浓度）及遮断（减少辐射热），三种效果达成火灾防护目的。
                c.        排烟设备 洁净室〈Clean room〉提供半导体制程一个干净的空间，由于粒子〈Particle〉对制程良率的影响颇重，因此洁净室的洁净度要求便格外重要。下图所列为美国联邦标准209D的洁净室规格标准，定义方式为单位英?〈ft3〉内直径为0.5um的粒子数多寡。如单位体积内直径为0.5um粒子数在1E2〈即100〉以下，则称为class 100；在1E1〈即10〉以下为class 10，余类推。


Ⅴ、电子工厂实地探勘
一、        1997.10.03日发生联瑞集成电路股份有限公司发生火警后该公司为此所做的改进方法。 前次火警原因初步分析应是酸毒废气管排放装置中的洗涤器未将各种可燃气体、自燃气体燃烧完全，，致使反应后之各种有毒废气直接流向酸毒废气管，于施工附近开口处与空气反应造成自燃。原文来源：无尘车间 http://www.iwuchen.com/
        1.        成立联电消防队：负责策划全厂区的紧急应处理和应 变程序。 成立联华电子消防分队来负责规划、训练全厂区的员工自卫消防编组。
        2.         将排放废气之排气管材质改变。 火警延烧扩大的原因之一是因为所有排放的酸毒废气均只经过一条管道来排放，而其中可能包括有硅甲烷、二氯硅烷与六佛化钨等化学自燃物质，导致火势一发不ss可收拾。故现在改变成将硅甲烷、二氯硅烷与六佛化钨等化学自燃物质经瓦斯燃烧后单独用一不锈钢管道来排放且其内部镀上一层铁弗龙来加强材质，而其它酸毒废气用聚苯烯管来排放唯其管每经一段距离将撒水头延伸到废气管中以作防护，其中较需注意的是其撒水头是用蜡包住，再用塑料袋包起来，用蜡是因为防止误动作次数增加，而用塑料袋是因为其较可防酸、碱。用此来防护撒水头。
在洁净室中为维持本身的洁净度，都会要求作业人员穿上无尘衣，以防止身上的微粒被带入洁净室。且洁净室进气口应远离产生烟或有毒气体来源。在进气口应设置侦烟感知器，除了警报外并可关闭外气来源。设置紧急遮断装置可在洁净室外气关闭。至少各应有一台备用风扇对进气、空调机械及排气，空调系统应连接至紧急电源使洁净室保持在正压情况下。空调机械电力来源最好来自两个电源，如此维持洁净室空调不至中断。
　　联华电子工厂上次起火原因可能是酸毒废气管排放装制中的洗涤器未将各种可燃气体、自燃气体燃烧完全，致使反应后之各种有毒废气直接流向酸毒废气管，于施工附近开口处与空气反应造成自燃。将排放废气之排气管材质改变。而火警延烧扩大的原因之一是因为所有排放的酸毒废气均只经过一条管道来排放，而其中可能包括有硅甲烷、二氯硅烷与六佛化钨等化学自燃物质，导致火势一发不可收拾。若将排气管应使用FM认证合格材质或不燃性材质。若排气管不是FM认证合格材质，则必须按装洒水头在10"（含）以上排气管上，而10"以下支管则应更换成合格的材质。在排气管穿过防火墙时，穿过部份应有防火泥或其它防火阻隔，以保持防火区隔的完整性。参观现场时现场已改成将硅甲烷、二氯硅烷与六佛化钨等化学自燃物质经瓦斯燃烧后单独用一不锈钢管道来排放且其内部镀上一层铁弗龙来加强材质，而其它酸毒废气用聚苯烯管来排放唯其管每经一段距离将撒水头延伸到废气管中以作防护，其中较需注意的是其撒水头是用蜡包住，再用塑料袋包起来，用蜡是因为防止误动作次数增加，而用塑料袋是因为其较可防酸、碱。用此来防护撒水头。
二、        极早期火灾预警系统：洁净室非常讲究作业场所的洁静，故其中设备防护均倾向设置不会污染高科技厂商的防灾器材，故引进极早期火灾预警系统。洁净室空调循环强烈，其层流流速达0.3-0.5m /s。故极早期火灾预警系统是在火灾发生前且冒烟的极早期，非常快速、灵敏，将火灾微兆测出，因为火灾发生前会先产生可燃性气体，吸气孔约每4秒吸收附近空气，当吸气孔吸收这些气体时会和该防火区划的分析器将前三十小时的空气样本平均值比较后若有异常将会发出讯号告知受信总机，请应变人员尽速应变。因为是分析可燃性气体故其现场几乎仍未有火原的产生，让人们应变时间缩短，避免因疏忽而导致火灾的蔓延，或可达到不用灭火动作，即可消灭火灾将灾害减到最低。 动作原理：
        1.         采用全新的探测原理..此产品的核心技术有两点..激光散射测量和例子计数.当激光束照射到烟雾样本上时.由于烟雾粒子是球型的.于是就发生了三度空间权方向的散射.而光接收器定位于接收球面的最有利位置.接收烟雾粒子的散射信号.此过程与人的视觉一样.人有两个分离的光接收器…..双眼.接收到略有不同的图像.经大脑处理形成三度空间的视觉.同样的探测器也有两个分离的光接收器.祺信号在微处理器中行程立体的视觉.探测器中还有第三个光接收器.用以指示激光束的强度.以调节其光度。
        2.         采用主动抽气..适应各种环境.探测器借住于高效抽气机.通过防护区的管网连续不断的抽取空气样本.经过滤器滤过灰尘.近入激光分析室.进行分析和测量完成光电转换。
　　采集式的侦烟感知器由采集管上开孔，经由泵吸取将防护区的状态经由远程侦测器感知，就是因为管状采样方式，空气稀释使得反应时间不及传统侦烟器快，因此侦测器本身选择就要较传统式来得灵敏，此种侦烟器会用在生产区，传统式侦烟器侦测时间会延迟，且洁净室空气中粒径很小，传统式感知器无法迅速达到有效遮光率，使灾害发生后，反应时间太慢，常使灾害扩大。
　　选择合适的侦烟系统，要有自动且极早期警报并标示位置。单一侦测器范围不宜超过该侦测器设计值，同时两侦测器间的距离宜以搜寻起火点合适为主，如果是两区隔空间，则不论空间面积大小为何，均须设置独立侦烟器。欧美国家的警报设备均与公立消防队联机，期使火灾发生后，能使有经验的消防队员携带更好的接气体侦测灭火设施，而有效压制火势。
气体侦测器设置，一般以泄漏位置及工作区为主，前者是为了立即控制泄漏源，而后者则是为了确认人员工作的安全性。因为半导体产业特别重视人员安全性，因此气体侦测器除了警报功能外，更有控制供应停止装置，尤其是阀件，其讯号通常由侦测器传送至控制器及警报器，由计算机处理执行程序。
　　应注意的是，如果侦测器设置区域是溶剂或易燃性气体，则防爆型侦测器必须被使用，而其防爆等级以半导体制造业使用化学物质而言为Class1、Div2。由于相似气体或蒸气对电极的交互影响，因此要避免误动作是很重要的。另外像无线电对讲机的电磁波，有时也会使控制器误动作，人员维修机台时，所用到的化学物质，或清洗时产生混合蒸气，亦会引起电极动作。必须留意的是，许多灾害扩大，均是因为不了解误动作原因而关闭电极功能，在真正气体泄漏时反而不能发生功效，使得灾害情况扩大，解决方法应是找出原因并克服之。
洁净室非常讲究作业场所的洁净，故其中设备防护均倾向设置不会污染高科技厂商的防灾器材，故引进极早期火灾预警系统。
三、        微水雾喷头（高压水雾）简介：其灭火原理乃利用压力及特殊喷头之作用，产生悬浮微雾（400μm以下之水滴），藉冷却、稀释及遮断来达成防护目地。


Ⅵ、结 论
综合上述所论，针对洁净室的防火安全管理，提出以下几点建议：
一、        法令、标准之适用： 目前洁净室的消防相关法规有：各类场所消防安设备设置标准、NFPA、FL等标准，然而真正在国内具有法律地位的仅有各类场所消防安设备设置标准，因此对于洁净室的特殊用途仍无法做适切的规范及提供合适的防护，有鉴于此，针对NFPA等国外标准的新工法、新设备则有赖内政部消防设备审议委员会审查。然而厂场越来越多，每一件个案都单独由审议委员会审理，行政作业旷日费时，若能将相关标准撷取适用并将其法制化，同时订定法规时使其拥有充分弹性，方便日后针对实际情形予以订正，或许有助于洁净室的法规适用及消防设计上的完整性。
二、        警报设备及烟控设计： 针对洁净室的特殊用途，除了一般的消防安全设备之外，尚有其它警报设备及烟控设计如下：
        1.         极早期火警探测系统： 洁净室内经常使用到的易燃性气体多达200 种之多，常用者尚多达50种，一旦有发火情形发生，不论灭火成功与否，洁净度必然被破坏，制程因而中断，造成产业损失，因此洁净室内尽可能在任何发火情况之前就能早期预知而采取适当对策，如此将有效降低发火燃烧的机率，消灾于无形。
        2.         排烟： 洁净室内虽有强力气流及换气过滤设备，然而仍属密闭式循环，当烟雾之生成量大于换气过滤设备所能处理的量时，浓烟将密布在室内，延长抢救及人命救助的时间。另外燃烧生成之烟雾同时具有高热，循环用之气流管道是否耐得住高温，仍需深入探讨，再加上烟害之后的复旧，必然耗费巨资，也应列入考虑。因此专供抢救上必要设备之排烟设备有其存在的需求性，一方面能缩短抢救所需时间及减少水损，另一方面在造价上也较换气设备为低。然而排烟设备的启动应以自动或手动为主？可以和极早期探测系统或手动排烟设备相互配合，避免系统误报发生及配合实际抢救工作，如此将更具效果。
三、        制程设备防火性能强化： 针对高分子塑化材料的易燃性及高发烟量，可以改换成添加阻燃成分的聚丙烯（FRPP--Fire Retardant Polypropylene）材料，以加强高分子塑化材料的抗燃性，减低发火及延烧的可能性。另外，针对废气及废液排放管经常发生灾害，可以将聚丙烯（PP--Polypropylene）管改成FRPP，或是不锈钢（Stainless）管内部涂布铁氟龙（Teflon）以防腐蚀，同时在管内设置自动撒水设备，在发火时能迅速放水降温并防止延烧。
四、        防火管理与建议：防火区划及防火措施：洁净室火警原因大部分由易燃性液体、气体之快速延烧现象、易燃性气体灾害。故洁净室的设计应有适当的防火区划及防火门的区隔，当灾害发生时能将火势局限在一定范围内，以防止烈火及浓烟波及其它地方。同时高分子塑化材料部分可以改换为添加阻燃剂（Fire Retardant）的材料，以提高塑化材料的燃点，降低起火燃烧的机率。除了易燃的性质外，气体还可能产生毒害，或具有腐蚀性，例如磷化氢PH3属于猛毒性气体，稍一不慎致其泄漏，便会对人命安全造成严重威胁。因此在处理易燃性气体或废气时，除了注意其燃烧性质及特性外，也应了解对于人体的影响，方能做最周全的处理。
　　排烟消防设备之应变：洁净室火灾有三种指标：火焰蔓延指标(FPI)、烟损指标(SDI)及腐蚀损害指标(CDI)三种。使用指标愈低的材质，则在火灾发生时，愈不容易造成损害扩大。而这些材质测试标准依FM4910标准，在FMRC(Factory Mutual Research Center)进行试烧及量测。洁净室内虽有强力气流及换气过滤设备，然而仍属密闭式循环，当烟雾之生成量大于换气过滤设备所能处理的量时，浓烟将密布在室内，延长抢救及人命救助的时间。另外燃烧生成之烟雾同时具有高热，循环用之气流管道是否耐得住高温，仍需深入探讨，再加上烟害之后的复旧，必然耗费巨资，也应列入考虑。因此专供抢救上必要设备之排烟设备有其存在的需求性，一方面能缩短抢救所需时间及减少水损，另一方面在造价上也较换气设备为低。然而排烟设备的启动应以手动为主，并和及早期探测系统或手动排烟设备相互配合，避免系统误报发生连动其它设备，且利用即早期探测器来侦知火警发生可减少应变时间而即早应变，再加上配合实际抢救工作和员工的自卫消防编组防护，如此将更具效果。
　　洁净室厂房属于工厂，因此当其建筑面积在五百平方公尺以上，员工人数三十人以上者，依照消防法施行细则第十三条应施行防火管理制度，然而洁净室与一般建筑物在使用型态、内容物及建筑结构上完全不同，针对洁净室的特性应特别针对自卫编组训练及防灾应变的教育训练，以期发生事故时，现场作业人员能在最短的时间内做最正确的处理，降低延烧的机率及烟害对洁净室的影响。另外，对于洁净室使用易燃性气体及液体在火灾特性上及火灾抢救方法迥异于一般建筑物火灾，可以由业者自行设置园区消防队（Fire Brigade），针对该厂区特性研究专属的因应对策及快速反应作业程序，减低厂区的潜在损失。

半导体产业应用到许多高科技器械，同时也产生一些特殊的防灾应变问题，对于这些新产生的问题，如果没有适当的通盘了解，进行抢救工作时将面临更多难题，因此针对洁净室的灾害及火灾特性应具有一定的认识，日后遇到类似的案件，才能处理的更快、更好。

原文来源：无尘车间 http://www.iwuchen.com/