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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
|
ISO Class1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
ISO Class7 |
|
|
|
352,000 |
83,200 |
2,930 |
ISO Class8 |
|
|
|
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
ISO Class9 |
|
|
|
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
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¡Ý5.0um |
Óθ¡¾ú/Á¢·½Ã× |
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|
100¼¶ |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
1,000¼¶ |
35,000 |
200 |
50 |
2 |
10,000¼¶ |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
100,000¼¶ |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
300,000¼¶ |
10,500,000 |
60,000 |
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15 |
ÃÀ¹úÁª°î±ê×¼£¨USA Federal Standard£©
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¹ú¼ÒÒ©Æ·¼à¶½¹ÜÀí¾Ö1999Äê8ÔÂ1ÈÕ·¢²¼ÊµÊ© |
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¹ú¼Ò±ê×¼GB50073-2001 |