Abstract The cleanliness in clean room get worse because of continuous increase of production．It is necessary take measures for regulation of air-conditioning operating paramets，not only reach the necessary cleanliness，but also save the electrical cost．

Keywords Cleanliness Temperature and humidity Basis Setpoint

*Shen Zhen San Xing Shi Jie Co．，Ltd．China

随着我国电子工业的飞速发展以及产品的供过于求，各项产品的竞争日趋激烈，打赢这场竞争的关键是产品的质量和价格。洁净度是电子产品生产的前提条件，而低成本则是产品价格的基础。下面介绍一下我们在此方面的一些管理经验，以供大家参考。

1 洁净度管理

我们的生产车间要求的空调洁净度为3000(英制，下同)及5000级，安装厂家调试时均按实际设计数据确定，如：高效过滤器出口为lm／s左右的风速。回风口为2m／s左右的风速，起初投产及中批量生产时，洁净度能达到要求。调试厂家撤离后，随着产量的增加，洁净度逐渐达不到要求，加之设备的改造升级，实际产量超过设计产量时洁净度问题更加突出，部分工位的洁净度甚至降到100万级；且该区域周围大面积洁净度超标，公司由于担心出现产品质量问题一度停产，外方专家对超标原因进行各种推测，始终没有找到原因。后来笔者尝试两台尘埃粒子计器同时在两处测定，且取样量由0．1英尺3减到0．01英尺3，先找到洁净度数值较大点，仪器在较大点不动，另一仪器再换地地方检测(当然是较可疑的地方)，这样经过多次检测，终于将许多因素排除后确认是小车排气出口的油雾导致净度大面积超标；让维修人员将所有油泵出口处的接头认真处理，并检测合格后，再到周围范围内检测居然达到1000级。利用同样的方法还查到扩散的HF气体，高压喷嘴喷出的水雾都是洁净度超标的污染源，并采取将气体扩散处增加围帘，水雾处增加排风量的方式，将源头一一堵住。

今年4月在全集团十二个公司洁净度检测评比时，我公司净化车间的洁净度无一处超标，总评为满分而夺得第一名。并且此查找发生源的方法已在全集团内广泛开展。

2 节能运行管理

为了降低运行成本，我公司的空调运行采取

了以下方法：

(1)冷冻水的温度、压力随季节的变化而变化；夏季时由于大气的温湿度高，空气送到生产现场之前，需要降温除湿(室外大气湿度经常达85％以上)，这时我们将冷冻水温控制在6～7℃，压力5-5．5kg／cm2，冬季如果冷冻水还是以上的温度、压力，那么空调的冷冻水阀门开到很小也很难控制，最终导致冷冻水、加热、加湿阀门三个都打开，造成能源的巨大浪费。为了节约能源，我们将冷冻水温控制在温度8-11℃，压力在2．7～3．5kgf／cm2的范围内。此项简单的调整，就可达到冬季空调只开两个阀门(冷冻水、加热或冷冻水、加湿)，60台空调冬季平均每天节约400USRT的冷量以及30t的蒸汽。

(2)各工序的压差按下限0．5mm水柱(5Pa)控制，双电机空调尽量只开一台。我公司的重要工序空调都设计为双风机运行，设计的换气次数的参考值为同行业的平均值，上一节说过：我公司洁净度在集团内部排名第一，由于洁净度都在1000级以下，经过仔细计算送风量，换气次数，风量减小后温湿度变化，决定将部分空调的双风机改为单风机运行，新风量适当加大，而洁净度也稍有下降，湿温度、正压等参数也在规定范围内，此举又为公司节约130多万元电费。

(3)根据深圳夏季长、冬季短的特点，将恒温恒湿空调的温湿度基准适当上调(即热焓上调)，以节约冷量和热量。例如：我们的电子枪工程和膜工程起初的设计运行条件分为：22℃、55％和22．5℃、65％，经过逐步摸索改善，现已将其温湿度提高到24℃、55％和24．5℃、65％，仅这些空调运行一年节减的电费为140万元。

(4)其他节能措施：在夏季为了减轻冷冻水的降温除湿负荷，我们在不影响空调控制范围的前提下，将夏季一直开冷冻水除湿、加热升温的空调设定点适当上调，例如将24℃、55％上调到24．3℃、58％运行；将一直开冷冻水降温、等温加湿的空调湿度设定点适当下调，例如24．5℃、65％调到24．5℃、62％运行；夏季新风量和排风量开到最小；冬季则在空调许可的情况下将新风量和排风量开到最大。舒适性空调则安装温控器，将环境温度真正控制在26～28℃，以达到最大限度节能的目的。

以上是本人在洁净行业工作的一点心得，以供参改。

参考文献

1《空气调节设计手册》．北京：中国建筑工业出版社，1986

2《简明空调设计手册》．北京：中国建筑工业出版社，2002

图1 原有工艺布置平面图方协商，提出了改造方案。

2．1 工艺布置改造方案

(1)把原有系统中的办公室和展室调整到净化区以外；

(2)千级间与非净化区域紧邻，有利于千级间的空气状态参数的控制，调整平面布置如图2所示，原有设计中储物混合在黄光室内，经甲方要求，改造方案中将储物单间设置成一个房间，以利于生产和物品的管理；

(3)为了便于各功能区(黄光室等净化区及扩散炉等舒适空调区)进行风量及正压的控制和调节，各功能区均以彩钢夹芯板作围护结构，以对净化、非净化、高温等功能区进行隔离，保证气密性，实现风量、正压等空调参数的控制。

2．2 净化空调系统改造方案

(1)根据文献【1】要求净化区域与非净化区域应采用不同的空气处理系统，所以将原有系统分成三个系统，其中千级间黄光室、配药和储物设为JK-1系统，其余的万级洁净房间为JK-2系统，空调区域扩散炉间K-1系统。JK-1系统和JK-2系图2 改造后工艺布置平面。

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净化厂房的洁净度管理及节能运行实例

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