一种洁净室过滤装置

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，特别涉及一种洁净室过滤装置。

背景技术

半导体制造和科学研究通常在洁净的环境中，洁净室为过滤和去除污染物的环境。随着半导体特征图形尺寸越来越小，微污染防治变得越来越重要，特别是气态分子污染物 (Airborne molecular contamination，AMC)。OHT(Overhead Hoist Transfer)是半导体工厂使用的自动化搬运系统，天车运行于顶棚下方的行驶轨道，将装有晶圆的设备运送至各个生产区域，这就使得原来密封的各个区域间形成了一个通道。当洁净室相邻两个区域间压力过小，装有晶圆的设备运行形成的横向气流会将高浓度的气态分子污染物(Airborne molecular contamination，AMC)带至相邻区域，给相邻区域的微污染防治带来困难。

发明内容

鉴于上述现有技术的缺陷，本发明提出一种洁净室过滤装置，可以有效避免因装载设备例如天车运行，造成的相邻洁净室区域被污染的情况。

为实现上述目的及其他目的，本发明是采用如下技术方案来实现的，本发明提供一种洁净室过滤装置，包括：

轨道设备，设于多个洁净室之间，用于将装载设备移动至所述洁净室内；

缓冲区域，位于所述洁净室之间的连接处，所述缓冲区域与所述轨道设备卡合连接；

空气输送设备，与所述缓冲区域连接，所述空气输送设备用于输送空气；

空气过滤设备，位于所述缓冲区域的顶端，且将所述空气输送设备与所述缓冲区域连通；

压力控制设备，位于所述缓冲区域内，所述压力控制设备与所述空气输送设备连接；

其中，所述压力控制设备控制所述缓冲区域内的压力高于所述缓冲区域两侧的所述洁净室的压力。

在一实施例中，所述缓冲区域内的压力高出所述缓冲区域两侧所述洁净室的最大压力至少5-10帕。

在一实施例中，所述缓冲区域的两侧分别设有两个自动双开门，所述自动双开门具有卡口，所述卡口与所述轨道设备卡合连接。

在一实施例中，所述自动双开门包括第一开门和第二开门，所述第一开门具有第一凹口，所述第二开门具有第二凹口，所述第一凹口与所述第二凹口围成一长方体形状的所述卡口。

在一实施例中，所述空气输送设备包括：

新风送入设备，用于提供空气；

电磁阀，设置在所述新风送入设备的管路上，所述电磁阀与所述压力控制设备连接；

封闭罩，包围所述空气过滤设备，所述封闭罩与所述新风送入设备连通。

在一实施例中，所述新风送入设备为空调，所述空调与所述封闭罩连接。

在一实施例中，所述缓冲区域的顶端竖向延伸至所述洁净室的顶端。

在一实施例中，所述压力控制设备为压力传感器。所述压力传感器与所述空气过滤设备连接，所述压力传感器位于所述空气过滤器的底端。

在一实施例中，所述空气过滤设备为空气过滤器。

在一实施例中，所述缓冲区域的底部设有一挡板。

在一实施例中，所述缓冲区域的顶端为所述洁净室的顶端。

在一实施例中，所述洁净室的顶端为顶棚或者天花板。

在一实施例中，所述洁净室的顶端和侧面还设置有滤网。

在本发明中，提供一种洁净室过滤装置，通过控制所述缓冲区域内的压力，使得所述缓冲区域内的压力高于所述缓冲区域两侧的所述洁净室的压力，当一侧所述自动双开门开启时，洁净的空气向与所述装载设备运行方向相反的洁净室吹扫，从而，可以有效避免因所述装载设备例如天车运行，造成相邻两个洁净室相互污染的情况。本发明例如使用封闭罩，可以有效集中空气，输送较少的空气量即可维持一定压力，从而节约能源。本发明使用具有卡口的自动双开门的设置，使得在未有所述装载设备通过时，所述缓冲区域处于密闭状态。本发明的所述空气过滤单元不占用所述洁净室的空间，不影响所述装载设备例如天车的运行，且成本较低。本发明还具有原理易懂，成本低，构思巧妙和结构紧凑等优点。

附图说明

图1：本发明一实施例中所述洁净室过滤装置的结构示意图；

图2：本发明一实施例中所述自动双开门关闭时的示意图；

图3：本发明一实施例中所述自动双开门打开时的示意图。

符号说明

101、轨道设备；102、缓冲区域；103、空气输送设备；1031、新风送入设备；1032、电磁阀；1033、封闭罩；104、空气过滤设备；105、压力控制设备；106、自动双开门；1061、第一开门；1062、第二开门；107、卡口；1071、第一凹口；1072、第二凹口；A、第一洁净室；B、第二洁净室；C、挡板。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

在本发明中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”仅用于描述和区分目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明中，提供一种洁净室过滤装置，通过控制所述缓冲区域内的压力，使得所述缓冲区域内的压力高于所述缓冲区域两侧的所述洁净室的压力，当一侧所述自动双开门开启时，洁净的空气向与所述装载设备运行方向相反的洁净室的方向吹扫，从而，可以有效避免因装载设备例如天车，运行造成的相邻洁净室区域被污染的情况。

请参阅图1至图3所示，在一实施例中，所述洁净室过滤装置包括但不限于，轨道设备101，缓冲区域102，空气输送设备103，空气过滤设备104和压力控制设备105。所述洁净室过滤装置的应用场景例如为用于避免天车运行，造成相邻洁净室被污染的情况。

请参阅图1至图3所示，在一实施例中，所述轨道设备101设于多个所述洁净室之间，用于将装载设备移动至任意所述洁净室内，所述装载设备例如为天车，所述天车内装载有晶圆。以第一洁净室A和第二洁净室B为例，所述第一洁净室A和所述第二洁净室B为处于相邻位置的洁净室，所述轨道设备101贯穿于所述第一洁净室A和所述第二洁净室B。所述第一洁净室A和所述第二洁净室B的顶端为天花板或者顶棚。所述洁净室A和/或所述第二洁净室B的顶端和侧面例如还设置有滤网，来吸附一些化学物质，这是为了使洁净室的洁净度等级更高。

请参阅图1至图3所示，在一实施例中，所述缓冲区域102位于任意相邻所述洁净室的连接处，所述缓冲区域102的顶端例如为所述洁净室的顶端，所述缓冲区域102与所述轨道设备101卡合连接。具体的，所述缓冲区域102例如位于所述第一洁净室A和所述第二洁净室B的连接处，所述缓冲区域102的顶端例如为所述洁净室的顶端，具体的，例如为所述第一洁净室A的顶端和所述第二洁净室B的顶端交接处的区域。所述缓冲区域102用于供所述装载设备通过，进入下一个所述洁净室。本实施例中，在所述装载设备未经过所述缓冲区域102时，所述缓冲区域102是处于密闭状态的，不会有含有杂质的气体进入所述缓冲区域102。

所述缓冲区域102的底部开口，在所述缓冲区域102的底部开口处设有一挡板C。所述挡板C被所述第一洁净室A和所述第二洁净室B的连接处所支撑，所述挡板C的材质例如为，木质挡板，塑料挡板，金属挡板，或者为其它材质的挡板。

请参阅图1至图3所示，在一实施例中，所述缓冲区域102的两侧分别设有两个自动双开门106，所述自动双开门106具有卡口107，所述卡口107与所述轨道设备101卡合连接。具体的，所述自动双开门106例如包括第一开门1061和第二开门1062，所述第一开门1061具有第一凹口1071，所述第二开门1062具有第二凹口1072，所述第一凹口1071与所述第二凹口1072可组合围成一长方体形状或其他形状的所述卡口107，所述卡口107能与所述轨道设备101卡合，使得在没有所述装载设备经过时，所述缓冲区域102能保持完整密闭状态。以所述装载设备先经过所述第一洁净室A，再经过所述第二洁净室B为例，所述装载设备每经过一个交接处时，都会设置所述自动双开门106。例如，在所述第一洁净室A的一侧设置有所述自动双开门106，所述第一洁净室A和所述第二洁净室B的连接处也设置有所述自动双开门106，所述第二洁净室B的出口一侧也设置有所述自动双开门106。当所述自动双开门106关闭时，所述自动双开门106与所述轨道设备101恰好密封，当所述轨道设备101例如天车，运行至所述自动双开门106前例如1～1.5米时，所述自动双开门106自动打开，待例如天车完全进入所述缓冲区域102后，所述自动双开门106关闭，另一侧的所述自动双开门106同步打开。

请参阅图1至图3所示，在一实施例中，所述空气输送设备103与所述缓冲区域102连接，所述空气输送设备103用于输送空气。所述空气输送设备103包括但不限于，新风送入设备1031、电磁阀1032和封闭罩1033。具体的，所述新风送人设备1031用于提供空气，例如是洁净的空气。所述新风送入设备1031例如为空调，所述空调1031和所述封闭罩1033连接。所述空调将空气处理后，通过气体管路将处理后的洁净的空气送入所述封闭罩1033内。所述封闭罩1033包围所述空气过滤设备104，所述新风送入设备1031的进气口与所述封闭罩1033连通。所述空气输送设备103例如设置在所述洁净室的外部。所述封闭罩1033的作用是压缩空气，便于所述新风送入设备1031将所述洁净的空气，送入所述空气过滤设备104中。所述封闭罩1033例如为长方体罩，正方体罩，圆柱体罩或者半椭圆形罩，也或者为其它适用于本发明的形状。

请参阅图1至图3所示，在一实施例中，所述新风送入设备1031的管路上例如设置有电磁阀1032，所述压力控制设备105与所述电磁阀1032连接。所述压力控制设备105通过控制所述电磁阀1032，来控制所述新风送入设备1031所提供的洁净空气的流量，进而控制所述缓冲区域102内的压力大小。

请参阅图1至图3所示，在一实施例中，所述空气过滤设备104例如位于所述缓冲区域102的顶端，且所述空气过滤设备104将所述空气输送设备103与所述缓冲区域102连通。具体的，所述缓冲区域102的顶端例如竖向延伸至所述洁净室的顶端，此处，以所述第一洁净室A和所述第二洁净室B为例，所述缓冲区域102位于所述第一洁净室A和所述第二洁净室B的连接处，所述缓冲区域102的顶端即为所述第一洁净室A和所述第二洁净室B的连接处的所述洁净室的顶端。所述空气过滤设备104位于所述缓冲区域102的顶端，即位于所述洁净室的顶端，所述空气过滤设备104连通所述空气输送设备103与所述缓冲区域102连通，所述空气过滤设备104将所述空气输送设备103输送的空气，经过滤后，送入所述缓冲区域102中，值得注意的是，送入所述缓冲区域102中的空气，是洁净的，不含有杂质的，不会对所述缓冲区域102产生污染。所述空气过滤设备104例如为空气过滤器。

请参阅图1至图3所示，在一实施例中，所述压力控制设备105例如位于所述缓冲区域102内，所述压力控制设备105例如与所述空气输送设备103连接。所述压力控制设备105例如为压力传感器，所述压力传感器与所述空气过滤设备104连接，具体的，所述压力传感器例如位于所述空气过滤设备104的底端，当所述空气过滤设备104为空气过滤器时，所述压力传感器例如位于所述空气过滤器的底端，用于实施监控所述缓冲区域102内的压力。所述压力控制设备105控制所述缓冲区域102内的压力高于所述缓冲区域102两侧的所述洁净室的压力，这时，当所述装载设备例如天车经过所述缓冲区域102时，竖直向下流动的空气气流遇到障碍物时，气流会向相对低压的洁净室流动，这样所述装载设备例如天车，运行时所形成的横向气流就把高浓度的气态分子污染物(Airborne molecular contamination，AMC)带离。在一实施例中，所述缓冲区域102内的压力高出所述缓冲区域102两侧所述洁净室的最大压力至少5-10帕，例如为5帕，6帕，7帕，8帕，9帕，10帕。

请参阅图1至图3所示，在一实施例中，所述压力控制设备105例如与所述空气输送设备103上的所述电磁阀1032连接，通过控制所述电磁阀1032，来进一步控制所述缓冲区域102内的压力大小，同时，所述压力控制设备105还能实时监控所述缓冲区域102内的压力大小，实现精准控制。例如，当所述缓冲区域102内的压力低于设定值时，所述电磁阀1032通过所述压力控制设备105传递的信号调节所述电磁阀1032阀门的大小，可以有效控制新的空气补入量，此处所述的设定值即为预先设定的所述缓冲区102内的空气压力大小，例如为上述所述的所述缓冲区域102内的压力，高出所述缓冲区域102两侧所述洁净室的最大压力至少5-10帕，例如为5帕，6帕，7帕，8帕，9帕，10帕。

请参阅图1至图3所示，在一实施例中，所述第一洁净室A例如为湿法蚀刻区，所述第二洁净室B例如为铜制程区，所述轨道设备101贯穿其中，以包含所述轨道设备101在内的所述缓冲区域102，位于所述内湿法蚀刻区和铜制程区的连接处，所述缓冲区域102的顶端竖向延伸至所述所述内湿法蚀刻区和铜制程区的连接处的洁净室的顶端，所述缓冲区域102的两侧分别为两个自动双开门106，所述自动双开门106包括第一开门1061和第二开门1062，所述第一开门1061具有第一凹口1071，所述第二开门1062具有第二凹口1072，所述第一凹口1071与所述第二凹口1072围成一长方体形状的所述卡口107，所述卡口107能与所述轨道设备101卡合，使得在没有所述装载设备经过时，所述缓冲区域102能保持完整密闭状态。所述空气过滤设备104例如为空气过滤器，所述空气过滤器位于所述缓冲区域102的顶端，所述空气过滤器的底端例如设置有所述压力传感器。所述空气输送设备103例如设置在所述洁净室的外部，具体的，在与所述空气过滤器在同一竖直方向上，所述空气输送设备103中的所述封闭罩1033即罩在所述空气过滤器上，所述新风输入设备1031的位置可根据实际需要，来进行放置，只需所述新风输入设备1031与所述封闭罩1033连通即可。所述新风送入设备1031的管口上设置有所述电磁阀1032，所述压力传感器通过传送信号，控制所述电磁阀1032的阀门开关大小，来进一步控制所述新风送入设备1031送入所述封闭罩1033内的空气流量大小。本实施例通过各部件之间的共同作用，使得所述缓冲区域102内的压力高出所述缓冲区域102两侧所述洁净室的最大压力至少5-10帕，具体的，例如为5帕，6帕，7帕，8帕，9帕或者10帕。

综上所述，在本发明中，提供一种洁净室过滤装置，通过控制所述缓冲区域内的压力，使得所述缓冲区域内的压力高于所述缓冲区域两侧的所述洁净室的压力，当一侧所述自动双开门开启时，洁净的空气向与所述装载设备运行方向相反的洁净室吹扫，从而，可以有效避免因所述装载设备例如天车运行，造成相邻两个洁净室相互污染的情况。本发明使用封闭罩，可以有效集中空气，输送较少的空气量即可维持一定压力，从而节约能源。本发明使用具有卡口的自动双开门的设置，使得在未有所述装载设备通过时，所述缓冲区域处于密闭状态。所述压力控制设备通过控制所述空气输送设备，来进一步控制所述缓冲区域内的压力大小，同时，所述压力控制设备还能实时监控所述缓冲区域内的压力大小，实现精准控制，达到节能的目的。本发明的所述空气过滤单元不占用所述洁净室的空间，不影响所述装载设备例如天车的运行，且成本较低。本发明还具有原理易懂，成本低，构思巧妙和结构紧凑等优点。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明，本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案，例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

除说明书所述的技术特征外，其余技术特征为本领域技术人员的已知技术，为突出本发明的创新特点，其余技术特征在此不再赘述。