洁净室的防排烟防微振问题

1、洁净室的防排烟问题

洁净室的防排烟问题专业设计人员和消防主管部门共同协商确定。由于目前尚缺乏具体的设计规范，仅能参照普通建筑或高层建筑防水排烟规范并结合生产工艺的特殊性作设计方案。即采用所谓性能化防火设计，许多国家都允许在消防设计中采用此设计方法。该方法的主要特点是容许有一点灵活性和强调能实现的使用目的，例如：延长可用于救灾的时间、减少人员逃生所需要的时间、系统的高可靠性、优化和节约投资等。这样的设计在前期要投入一定的科研，如运用相关的数学模型（如火灾模型、人群疏散模型等）及CFD技术等。

2、防微振问题

对于高级别半导体生产厂房微振动会影响产品成品率，所以在建筑、结构上采用了大量措施，甚至采用了主动抗振装置等。净化空调系统本身设备及气流引起的振动控制也必须十分重视。

3、防静电问题

由于洁净室内较低的相对湿度及大量使用绝缘材料，很容易产生静电集聚。静电会导致产品与设备表面的微粒污染，并损坏耐压较低的电子元件。防静电的主要方式有将导体接地、采用静电保护罩及使用空气离子发生器等。