洁净室属生产辅助性工程。在半导体制造过程中需要严格控制制程污染。为减少或避免由于细菌、病毒、杂质等污染因子导致的产品缺陷,半导体工艺通常需要在洁净室环境下完成。
半导体洁净室具有不论外在空气条件如何变化,其室内均具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性,对半导体成品率有直接影响。新建半导体洁净室厂务工程需要采用大量高洁净应用材料,洁净室出现污染、泄露、控制错误等问题都会造成严重良率与安全事故,因而对其的洁净度、精密度与可靠性要求极高。
新建厂务工程主要包括:
A、半导体项目不同化学品包括清洗液、CMP 抛光液、湿法刻蚀液、废液等都需铺设单独管路;
B、常用的高纯特种气体有 30 多种,包括烷类、卤化物气体以及其他气体,具有易燃、易爆、剧毒等特性,均需铺设单独管路;
C、不同制程机台,需铺设管路保证正常运转。管道、阀门等。据中国产业研究院数据,2017 年全球洁净室工程市场规模达 3959.4 亿元,同比增长约 13.2%。保守预计至 2021 年,全球洁净室工程市场规模达 5797 亿元。在光伏、光电、生物科技、半导体等应用行业,国内厂商极少,主要竞争对手来自海外,相关概念股如下:
相关个股:
创元科技:叠加生物p3实验室。
三丰智能:公司与华景电通在半导体洁净室搬运系统(AMHS)装备技术上正在进行密切合作,目前全球半导体行业AMHS系统成熟技术仅有日本二家企业掌握,AMHS系统可以满足半导体的细微化及液晶显示器的精细化加工要求,可为生产的物流合理化提供各种系统解决方案。
莱应材:洁净室材料。
亚翔集成:高端洁净室。