洁净厂房的使用维护管理

摘要：洁净厂房洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度；洁净厂房运转管理，可依作业人员、原物料、设备及洁净厂房内所用东西等加以探讨；洁净厂房内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。 

关键词：洁净厂房 污染源 运转管理 维护保养 

一、污染源控制

　　洁净厂房洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。洁净厂房内之微污染来源，经测试分析结果，作业人员占约80%，如图1所示。实验数据显示，作业人员进出洁净厂房时尘埃有显著增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因人是主要因素。

洁净厂房的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等，

　　对硅芯片而言，微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，因此微污染源的控制已成为洁净厂房管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度，可为设计参考，而在微污染控制，其基本原则有四：

　　1.外部尘埃侵入之防止：

　　洁净厂房适当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入洁净厂房前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。

　　2.室内发尘之防止：

　　隔间板、地板等洁净厂房材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用洁净厂房专用器等。

　　3.室内发尘之不积留：

　　墙壁体应光滑无死角、洁净厂房需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。

　　4.发生尘埃之排除：

　　换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。

　　人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题，这些问题将于下节祥述。

表1 自然界微尘粒子数 

二、洁净厂房运转管理

　　洁净厂房运转管理，可依作业人员、原物料、设备及洁净厂房内所用东西等加以探讨，并依计划（planning）、实施（Doing）、追踪（Checking）、动作(Action)之PDCA循环步骤执行。

1.作业人员之管理

　　前以提及在洁净厂房内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依洁净厂房管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已减大半。现就进入洁净厂房的作业人员之管理和注意事项说明如下：

　　（1）进入洁净厂房之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持最好状态之观念。

　　（2）作业人员进入洁净厂房数目以维持最小限度原则（愈少愈好），并须依洁净厂房进出标准流程进出洁净厂房，如图3所示。出则相反方向进行，唯不须经空气洗尘室之脱尘处理。

　　（3）对作业人员必须经常讲解洁净厂房管理之数据，并加以教育与训练，内容如洁净厂房管理之一般常识、洁净厂房之构造与功能、维护和清洁、安全对策、搬运器材之洁净管理与检查、洁净衣之穿脱、洁净厂房内之步行方式等，并经考试合格者方能进入洁净厂房工作。http://www.iwuchen.com/

　　（4）在洁净厂房作业人员须经常保持自己各方面的干净与清洁。

　　（5）在洁净厂房内之作业人员或其它人员之移动或动作均为发尘源，其直接影响制程，同时亦会影响气流之扰动，为防止与控制上述情形，基本上须注下列事项：

　　a.不可在作业区域气流之上方放置物品或做其它作业。

　　b.不必要之动作尽量避免以防止乱流发尘。

　　c.与作业无关的私心谈话尽量避免。

　　d.为控制发尘量，人员步行及作业要静静地进行。表2所示为人体在不同动作时之发尘量。

　　e.作业要在洁净之工作柜或工作桌进行。

　　f.工具等器具须收入有盖子之箱子或柜中，并置放一定的场所。

　　（6）作业人员须经常保持干净之手，除了常洗手、剪指甲外，手并应保养，以防皮肤之剥离，男性须每天刮胡子。

　　（7）洁净衣要经常保持着衣之状态。

　　（8）下列所述者不能进入洁净厂房：

　　a.非作业人员或事先未得许可者。

　　b.未照规定穿着洁净衣者。

　　c.刚做激烈运动流汗者。

d.吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者。图4为吸烟和未吸烟者微尘产生量与时间之比较图，由图上很明显可看出吸烟者所生之微尘在初期约为非吸烟者的90倍，直至30分钟后才降至15倍，此为为何洁净厂房禁止吸烟人员和吸烟未满30分钟不准进入的原因所在。故针对在洁净厂房作业人员之招募，若能选择不吸烟者为对象，将可带来甚大利益。

单位：每分钟、每人

表2 人体不同动作之微尘产生数

　　（9）有下列健康状态或体质者原则上不能进入洁净厂房：

　　a.因日晒、湿诊而皮肤有问题者。

　　b.化学纤维或有机溶剂等化学药品有过敏性体质者。

　　c.容易出受汗者。

　　d.比一般人皮肤表皮容易剥离、头皮或体毛容易掉落者。

　　e.化妆或涂口红者。

　　f.有重大精神病、神经过敏或闭琐恐惧者。

　　g.因哮喘、咳嗽或喷嚏者及不能安静工作者。

　　但对于有下列性格的人，则最适宜进入洁净厂房工作：

　　a.做事细心有耐性者。

　　b.勤于整理整顿，经常自己注意身边清洁的人。

      c.经常留意自己之健康者。

　　10.以下之物品不能带进洁净厂房：

　　a)没有经过清洁过程之器材、零件物品、测定器等各种物品。

　　b)纸箱及未经特别处理之记录或笔记用纸、影印数据等。

　　c)铅笔、橡皮擦、墨水等。

　　d)香烟、化妆品、卫生纸、饮食品等。

　　e)作业员个人用品如打火机、宝石、装饰品、钱包、钥匙、手帕、小日记手册或其它个人物品等。

洁净厂房洁净度维持之最大控制对象为作业人员，因此对于作业人员之数目、行动状态、进出规则之制定与执行，提高洁净厂房内作业人之洁净度意识、反复教育，均为必须，表3所示为因作业人员之动作而产生污染的增加倍率。

2.原物料、设备进出管理

除了人员进出洁净厂房须予于规范管理外，愿物料及设备之进出也必须经过洁净程序，方不至于影响洁净厂房之洁净度。其进洁净厂房之流程如表4所示。至于搬出则反方向而行，但不须经洁净程序。

原物料及设备进出用洁净厂房为洁净厂房等级1000或10000级之房间，工作人员于其室内清洁设备或物料时必须穿着洁净衣服，所使用之擦拭纸为无尘纸或不会脱落织毛之无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入3~5％浓度的IPA或丙酮化学品，以增强去污能力，由于IPA及丙酮具挥发性，故此房间之排气效果须特别考虑。搬运设备时为免破坏地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。

3.洁净厂房内用品管理

　　洁净厂房内用品除了进出洁净厂房用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器等。

　　洁净衣之材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料之组织不易通过污染物和不附着污染物之材质，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，洗涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸或无纺布制成，帽子材质则与洁净衣相同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛和脸表面部分外，其它部分均需包覆，在头部部分连接上衣处也必须全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。洁净厂房用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑料底，布质部分则采用与洁净服相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（Viny1），在使用过程中若有不舒适感或妨碍手指触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上不使用有粉之Viny1手套为佳。

　　洁净衣鞋帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在洁净厂房内进行。并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2μm之过滤器为之。一般洗涤周期视洁净度等级而定，在高洁净区（CLASS1）为2~3天，其它区域则为五天至一星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放场所亦须为洁净厂房，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以方便取用。

　　桌椅一般以不锈钢材质，并需表面加工处理为之，若不得不使用镀锌品或木制品，其表面须施环氧树脂（Epxoy）加工以防表面发尘。工作桌最好有打洞，边缘有倒角。以利气流之运动。椅子尽量采用没有背及脚踏板者，椅脚高度以坐下来脚可以触到地板者为原则。但若一定须使用高脚椅时，则要准备脚踏环。桌及椅子之脚最好安装上塑料小轮子或套上橡胶套。

　　芯片盒为放置芯片之用，材质以选取择不易摩损、不发尘易清洁之材质如铁弗（Teflon）等，至于搬运车则以构造简单为原则，并忌使用折迭式，材质仍采用不锈钢为宜，车轮为耐磨性高之橡胶轮胎，车轮轴承采用双密封式滚珠轴承。推送搬运车时不得急速运推而以缓行为适。笔记本之纸质应采用无尘纸制成者，且不得使用影印数据，若非万不得已须使用，则须将文件放在透明之塑料套内或加覆背，同时不可于室内撕破或将纸揉成一团，避免造成环境之污染。如表5所示为不同纸张材质发尘量之比较。普通黑板及粉笔当然不能在高洁净厂房内使用，必要时可在更衣室等洁净厂房较低等级的区域使用白板。洁净厂房内不得放置清洁用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不锈钢，且置于维修区中的固定位置，桶须覆以盖子，以利管制，并定期清理。

表5 不同纸张发尘量比较（略）（实验方法：将两者纸张相迭，而相互磨擦时所产生之纸尘量小于0.5μM以上）

　　真空吸尘器，其功能是在吸取洁净厂房内地板上、下及设备上附着之尘粒或液体以防止这些尘粒之再飞扬，以达到清洁的目的，由于真空吸尘器在作业时会有排气产生，若未经处理，将严重影响洁净厂房之洁净度和气流，因而真空吸尘器在排气口均装有HEPA过滤器，以除去尘埃。唯现今之高级洁净厂房均设有中央式吸尘系统，并于现场预留吸尘口，故一般之清洁过程均利用此中央系统，以减少使用真空吸尘器时的气流干扰,在使用中央式系统时，须注意排气旦之控制避免使洁净厂房内之压力降低至规定范围以下。至于真空吸尘器因属洁净厂房内专用，故不可移至室外使用，若不用时应置于较低等级的洁净厂房中，旦每次使用后应清扫吸管、收尘箱等吸气系统。

三、洁净厂房各系统维护保养管理

　　洁净厂房内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。

　　洁净厂房内之生产制造设备注意之重点有三：

　　1.生产设备之选择、布置与保养：

　　a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。

　　b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。

　　c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。

　　d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。

　　e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在洁净厂房外面或回风区，并加装排气管线排气。

　　f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。

　　g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。

　　h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。

　　i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。

　　j.对于施工或维修之厂商，应告知进出洁净厂房之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。

　　k.应有洁净厂房专用工具组，但不得带出洁净厂房外使用。

　　l.规划空间时若能临近洁净厂房设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。

　　2.生产设备之防尘措施：

　　a.磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。

　　b.易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。

　　c.在操作时，尽量减少接触零件或产品。

　　d.不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。

　　e.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。

　　f.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。

　　3.自动化与无尘化：

　　a.设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。

　　b.建立管制项目如进入洁净厂房人员的资格限定，洁净厂房作业人员作业规则，洁净厂房管理规则等，这些规则已在前面章节叙述，此处不再说明。

　　在洁净厂房之维护管理方面，可分三部分加以说明：

　　1.建筑物之维护管理：

　　a.建筑物内定期检查清洁。

　　b.地板之清扫管理及损坏更新。

　　c.隔间墙及天花板检查清洁和封补。

　　d.窗户及门之保养等。

　　2.环境测定与管理：

　　洁净厂房内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握质量，若有数据异常，可立即做紧急处理。

　　3.防尘空调设备之维护管理：

　　a.温、湿度及尘埃浓度管理，在前面以述及，唯其量测仪器应做定期校正检验，若有设备移动或施工时须做局部测量。

　　b.过滤网之管理：定期检查及更换，表6为各种过滤网之检查及更换周期。

　　c.空气调节器管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有腐蚀现象。

　　d.送风机之管理：定期检查送风机运转状况。如表7所示为送风机之各项检查内容及周期。

　　e.风管及出风口之管理：检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等。

　　f.测试及量测仪器管理：定期校正及保养。

　　g.室内压力管理：连续监视室内压力记录，以维持正压为基准。

　　h.冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔之管理：定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析，以调整加药量等。

i. 洁净厂房停止运转再开机要点管理：启动后立即进行微尘粒子之测试，须洁净厂房恢复稳定正常时再开始作业。表8为空调设备应检查之项目。

表6 各种过滤网更换周期

　　备注：出风口尘埃测试系在送风管或出风口附近进行。

表7 送风机之各项检查及周期 

表8 表示微粒（μm）以上之粒径之每单位立方尺之粒子数上限值